人民网北京9月15日电 (方经纶)据工业和信息化部官网消息，为促进首台(套)重大技术装备创新发展和推广应用，加强产业、财政、金融、科技等国家支持政策的协同，工业和信息化部近日印发《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》(以下简称《指导目录》)，其中在电子专用装备目录下，“集成电路生产装备”包括氟化氩光刻机，光源193纳米，分辨率≤65nm，套刻≤8nm。
按照市场监管总局等5部门于今年4月联合印发的《中国首台(套)重大技术装备检测评定管理办法(试行)》，重大技术装备是国之重器，事关综合国力和国家安全。中国首台(套)重大技术装备，是指国内实现重大技术突破、拥有知识产权、尚未取得明显市场业绩的装备产品，包括整机设备、核心系统和关键零部件等。
《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》截图。
网友看法
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2、网友钓大鱼了0127：相当于28nm！继续加油吧
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5、网友梧桐花又开ZY：光刻机[比心]
6、网友多才多艺小猫鱼：支持和点赞这些为国的科学家，你们是好样的，科技也是要枪杆子里出底气，没有自主硬科技，美西就各种制裁。
7、网友阿Li0259：国产光刻加速[加油加油]
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